에스엔유, TSV 측정 관련 특허 취득

[뉴스토마토 정세진기자] 에스엔유(080000)는 21일 관통전극(TSV) 측정용 간섭계와 이를 이용한 측정방법에 대한 특허를 취득했다고 공시했다.

 

이 특허는 3차원 구조의 반도체 칩을 개발할 경우 발생하는 칩의 크기나 배선 복잡성 문제 등을 효율적으로 해결하기 위한 방법이다.