테스, 히터 레벨링 장치 특허권 취득

[뉴스토마토 조아름기자] 테스(095610)는 히터 레벨링 장치에 관한 특허권을 취득했다고 15일 공시했다.

 

테스는 이 기술이 막 두께의 균일성을 향상시켜 기판이 안착된 히터와 샤워헤드의 간격을 미세하게 조정할 수 있다고 밝혔다.