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테스, 가변형 샤워 헤드 특허권 취득
입력 : 2012-12-11 오후 2:09:22
[뉴스토마토 염현석기자] 테스(095610)는 가변형 샤워 헤드 특허권을 취득했다고 11일 공시했다.
 
회사측은 웨이퍼의 전면에서의 공정 균일도를 향상시킬 수 있고, 공정가스의 확산을 촉진시키며, 플렉서블 하판에 가해지는 하중을 줄일 수 있다고 설명했다.
 
 
 
염현석 기자


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