[뉴스토마토 왕해나 기자] 일본 정부가 한국에 대한 수출규제를 발표한 이후 처음으로 일본산 반도체 핵심소재 포토레지스트(감광액)가 국내 반입된 것으로 알려졌다. 포토레지스트는 지난 7월초 일본이 한국 수출 규제 품목으로 지정했던 3대 반도체·디스플레이 소재 중 하나다.
22일 업계에 따르면 일본산 포토레지스트가 지난 21일 항공편을 통해 국내로 반입됐다. 일본 경제산업성이 지난 7일과 19일 두 차례에 걸쳐 자국 기업의 포토레지스트 수출을 허가한 데 따른 것이다. 수입을 요청한 곳은 삼성전자로 알려졌다. 업계 관계자는 “정확하게 확인은 어렵지만 수출규제 이후 처음으로 일본산 포토레지스트가 항공편을 통해 반입된 것으로 알고 있다”고 설명했다.
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삼성전자 클린룸 반도체 생산현장. 사진/삼성전자
이번에 들어온 물량이 약 3개월치로 알려진 1차 허가분의 전부인지 일부인지는 확인되지 않았으나 삼성전자 화성사업장의 극자외선(EUV) 생산라인으로 옮겨질 것으로 전해졌다. 포토레지스트는 반도체 원재료인 웨이퍼 표면에 회로 패턴을 그리는 필수 소재다. 특히 삼성전자가 화성사업장에서 사용하고 있는 EUV용 포토레지스트는 미세공정에 필수적이다.
업계에서는 1차 수출 허가는 신에츠화학이, 2차 허가는 JSR이 각각 받았다는 추측을 내놓고 있으나 이 역시 확인은 되지 않았다. 앞서 미국 블룸버그통신은 21일 정통한 소식통을 인용해 JSR이 일본 당국으로부터 삼성전자에 대해 포토레지스트 수출을 허가받았으며, 5∼6개월치 물량이라고 보도했다. 이로써 삼성전자는 앞서 허가를 받아 수입한 3개월분을 합해 총 9개월치의 포토레지스트를 확보하게 됐다.
다만 업계는 이번 수출 허가로 인해 소재 수입과 관련한 불확실성이 해소됐다고 보기는 이르다는 평가다. 또 다른 수출규제 품목인 고순도 불화수소(HF)와 플루오린 폴리이미드(FPI)는 단 한건도 수출 허가를 받지 못한 것으로 전해졌다. 반도체업계 관계자는 “반도체 공정에는 99.99% 이상의 고순도 불화수소가 필요한데, 일본 협력사에 지속적으로 요청은 하고 있으나 아직 허가가 난 건은 없는 것으로 알고 있다”고 말했다.
왕해나 기자 haena07@etomato.com