[뉴스토마토 김연지 기자] 지난 22일 오후 12시22분 출고된 '램테크놀러지, 세계 최고 초고순도 불화수소 생산기술 특허 취득' 기사에 대해 램테크놀러지 측은 회사가 배포한 보도자료가 아닌 회사를 사칭한 자료이며, "세계 최고" 수준 등 비교 평가 근거가 부족한 자의적인 해석의 자료라는 입장이 있었기에 바로잡습니다. 기사오류에 대해 독자 및 주주 여러분께 깊이 사과드립니다. 앞으로 잘못된 보도를 줄이기 위해 노력하겠습니다. 다음은 수정된 기사입니다. 이미 출고된 기사는 바로 잡았습니다.
(이하 수정된 본문)
반도체 소재 국산화기업인 램테크놀러지가 지난 10월1일 고순도 불화수소 생산을 위한 정제방법 및 장치 개발 특허 취득한 것으로 22일 확인됐다.
이번 초고순도 불화수소 생산기술은 기존 방식의 문제점을 개선해 보다 높은 순도의 초고순도 불화수소를 정제하고, 이를 활용하여 반도체급 불산 제품을 생산하는 기술이 특징이다.
반도체 공정용 불산의 불순물은 반도체 공정에 영향을 미치므로 미량의 불순물까지 제거해야 되는 기술이 필요하다.
램테크놀러지는 불화수소 정제를 통해 반도체용 불산 제품의 단일 금속 불순물의 농도를 1ppt(1ppt는 1조분의 1일) 이하로 목표를 잡고 있으며, 이러한 불화수소(HF)는 다양한 산업 분야에서 사용 될 것으로 예상된다.
램테크놀러지는 "초고순도 불화수소 생산법은 기존 생산법 대비 자동 제어 시스템 (APC 모듈)이 접목되어 있어 균일한 초고순도 불화수소를 생산할 수 있는 특징이 있다"며, "이는 품질 저하에서 오는 제품 불량을 최소화하여 제품 가격 경쟁력으로 이어질 수 있을 것"으로 기대했다.
또한 "현재 당진 신규공장 증설을 추진하고 있으며, 증설이 완료되면 국내 반도체 용 불산 생산 가속화와 국내 시장 점유율을 점차 높일 것"이라고 덧붙였다.
김연지 기자 softpaper610@etomato.com