[뉴스토마토 정해훈 기자] 세계 최초로 GAA(Gate-All-Around) 기술을 적용한 3나노(nm, 나노미터) 파운드리를 양산하고 있는
삼성전자(005930)가 25일 제품 출하식을 열었다.
삼성전자는 이날 경기 화성캠퍼스 V1라인(EUV 전용)에서 차세대 트랜지스터 GAA 기술을 적용한 3나노 파운드리 제품 출하식을 개최했다.
이날 행사에는 이창양 산업통상자원부 장관, 협력사, 팹리스, 삼성전자 DS부문장 경계현 대표이사와 임직원 등 100여명이 참석해 3나노 GAA 연구 개발과 양산에 참여한 임직원을 격려했다.
경계현 대표이사는 "삼성전자는 이번 제품 양산으로 파운드리 사업에 한 획을 그었다"며 "핀펫 트랜지스터가 기술적 한계에 다다랐을 때 새로운 대안이 될 GAA 기술의 조기 개발에 성공한 것은 무에서 유를 창조하는 혁신적인 결과"라고 평가했다.
이창양 장관은 축사에서 삼성전자 임직원과 반도체 산업계의 노고에 감사를 표한 후 "치열한 미세공정 경쟁에서 앞서기 위해 삼성전자와 시스템 반도체 업계, 소부장 업계가 힘을 모아 달라"며 "정부도 지난주 발표한 '반도체 초강대국 달성 전략'을 바탕으로 민간 투자 지원, 인력 양성, 기술 개발, 소부장 생태계 구축에 전폭적인 노력을 아끼지 않을 것"이라고 강조했다.
행사에 참석한 국내 반도체 장비 업체
원익IPS(240810) 이현덕 대표이사는 "삼성전자와 함께 3나노 GAA 파운드리 공정 양산을 준비하면서 원익IPS 임직원의 역량도 한층 더 강화됐다"며 "앞으로도 국내 반도체 장비 산업 발전을 위해 삼성전자와 함께 최선의 노력을 다하겠다"고 밝혔다.
국내 팹리스 업체
텔레칩스(054450) 이장규 대표이사는 "텔레칩스는 삼성전자의 초미세 공정을 활용한 미래 제품 설계에 대한 기대감이 크다"면서 "삼성전자는 초미세 파운드리 공정을 국내 팹리스에 적극적으로 제공하며 팹리스가 제품 설계 범위를 넓혀갈 수 있도록 다양한 지원책을 제공하고 있다"고 말했다.
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삼성전자 화성캠퍼스. (사진=삼성전자)
삼성전자 파운드리사업부 기술개발실장 정기태 부사장은 이날 기술 개발 경과보고를 통해 파운드리사업부, 반도체연구소, 글로벌 제조&인프라총괄 등 사업부를 넘어선 협업으로 기술 개발 한계를 극복한 점을 강조하는 등 개발에서부터 양산에 이르기까지의 과정을 설명했다.
앞서 삼성전자는 GAA 트랜지스터 구조 연구를 지난 2000년대 초부터 시작했으며, 2017년부터 3나노 공정에 본격 적용해 지난달 세계 최초로 GAA 기술이 적용된 3나노 공정 양산을 발표했다.
삼성전자는 3나노 GAA 공정을 고성능 컴퓨팅(HPC)에 처음으로 적용하고, 주요 고객과 모바일 SoC 제품 등 다양한 제품군에 확대해 적용하기 위해 협력하고 있다.
한편 삼성전자는 화성캠퍼스에서 3나노 GAA 파운드리 공정 제품 양산을 시작했으며, 앞으로 평택캠퍼스까지 확대해 나갈 예정이다.
정해훈 기자 ewigjung@etomato.com