테스, 열교환용 양극판 반도체 제조장비 특허권 취득

2012-03-20 14:14:23 ㅣ 2012-03-20 14:14:41

[뉴스토마토 임효정기자] 테스(095610)는 '열교환용 플레이트(양극판)가 구비된 트랜스퍼 챔버 및 반도체 제조장비'에 관한 특허권을 취득했다고 20일 공시했다.

이번 특허로 인해 열에너지 낭비를 방지하고, 공정속도도 향상되는 효과가 있을 것이라고 테크는 설명했다.