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[뉴스토마토 이지은 기자] 국내 중소기업이 반도체 공공테스트베드인 나노종합기술원과 공동연구를 통해 메모리반도체용 핵심소재의 기술자립에 성공했다.
과학기술정보통신부는 12일 국내중소기업 DCT 머티리얼과 나노종합기술원이 공동연구를 수행, 현재 수입에 의존하고 있는 '고종횡비 구조의 메모리반도체용 스핀코팅 하드마스크 소재'의 기술자립에 성공했다고 밝혔다.
하드마스크는 반도체 미세회로를 새기는 포토마스크 보조재료로 식각공정을 통해 패턴을 효과적으로 형성시킬 수 있게 만드는 필수공정재료다.
DCT 머티리얼은 나노종합기술원의 팹시설을 활용해 공동으로 기술개발을 추진함으로서 최종 수요 대기업에 납품하기 위한 내열성, 평탄화율 등의 요구기준을 모두 충족하는 제품개발에 성공했다. DCT 머티리얼 관계자는 "나노종합기술원과의 협력을 통해 세계최고 수준을 뛰어넘는 제품개발에 성공했다"며 "향후 중소기업 지원 테스트베드가 확충된다면, 반도체 소재의 기술자립을 더욱 앞당길 수 있을 것으로 기대된다"고 말했다.
이번에 개발된 소재는 기존 제품보다 평탄화 특성은 물론, 가격경쟁력이 우수해 그동안 일본 등 외국에 의존했던 메모리반도체용 하드마스크소재의 국산 대체가 가능해질 전망이다.
고서곤 과기정통부 초원천연구정책관은 "반도체 핵심 소재·부품·장비의 기술자립을 지원하기 위해 나노종합기술원과 같은 나노인프라 기관을 적극적으로 활용할 계획"이라며 "지난해부터 추진 중인 12인치 반도체 테스트베드가 성공적으로 구축된다면, 국내 반도체 소재·부품·장비 산업경쟁력 제고에 크게 기여할 것으로 보인다"고 말했다.
이지은 기자 jieunee@etomato.com