테스, 기판가열장치 관련 특허 취득

[뉴스토마토 박제언 기자] 테스(095610)는 기판가열장치와 기판가열방법에 대한 특허를 취득했다고 18일 공시했다.

 

테스에 따르면 이번 특허는 기판가열장치와 기판가열방법에 관한 것으로 복수의 기판을 로딩해 가열할 수 있게 되므로, 작업처리량을 극대화할 수 있게 된다.

 

뉴스토마토 박제언 기자 [e-mail]

- Copyrights ⓒ 뉴스토마토 (www.newstomato.co.kr) 무단 전재 및 재배포 금지 -

이 기사는 뉴스토마토 보도준칙 및 윤리강령에 따라 김기성 편집국장이 최종 확인·수정했습니다.