원익IPS, 공정 챔버 특허 취득

[뉴스토마토 송종호기자] 원익IPS(030530)는 9일 증착 및 세정효율이 개선된 공정 챔버 특허권을 취득했다고 공시했다.

 

원익IPS "챔버내부의 플라즈마 밀도를 향상시켜 세정 효율을 개선할 수 있는 반도체 제조 장치 특허"라고 밝혔다.

 

 

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