로체시스템즈, '초박막 웨어퍼' 관련 특허 취득

[뉴스토마토 김용훈기자] 로체시스템즈(071280)는 12일 '엔드 이펙터' 관련 특허를 취득했다고 공시했다.

 

회사는 "개발 중인 반도체 후동정용 웨이퍼 가동장비에 적용되는 기술"이라고 전했다.

이 기사는 뉴스토마토 보도준칙 및 윤리강령에 따라 김기성 편집국장이 최종 확인·수정했습니다.