테스, 탄소막 형성법 특허권 취득

[뉴스토마토 박수연기자] 테스(095610)는 비정질 탄소막을 형성하는 방법에 대한 특허권을 취득했다고 30일 공시했다.

 

회사 측은 "이번 발명으로 내식각성이 향상된 비정질탄소막을 형성해 식각의 효율성을 높일 수 있다"고 밝혔다.

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