로체시스템즈, 반도체 웨이퍼 식각 공정 특허 취득

[뉴스토마토 양지윤기자] 로체시스템즈(071280)는 '웨이퍼 식각 시스템 및 이를 이용한 웨이퍼 식각 공정'에 대한 특허권을 취득했다고 5일 공시했다.

 

회사 관계자는 "특허 기술이 웨이퍼 식각 시스템에 관한 것"이라면서 "반도체 제조공정라인에 적용할 예정"이라고 설명했다.

 

 

 

이 기사는 뉴스토마토 보도준칙 및 윤리강령에 따라 김기성 편집국장이 최종 확인·수정했습니다.