참엔지니어링, 기판처리장치 특허 취득 공유하기 X 페이스북 트위터 URL복사 복사 2014-05-07 16:08:09 ㅣ 2014-05-07 16:12:26 [뉴스토마토 임애신기자] 참엔지니어링(009310)은 기판 이송부 및 이를 구비하는 기판처리장치에 관한 특허를 취득했다고 7일 공시했다. 회사는 "이는 복수의 기판을 동시에 처리할 수 있는 배치 타입의 기판 처리 장치"라며 "향후 이 특허 기술을 활용해 반도체 생산 공정장비의 경쟁력을 강화할 것"이라고 밝혔다. ⓒ 맛있는 뉴스토마토, 무단 전재 - 재배포 금지 관련기사 삼성, 2차 소송 '전세역전'..애플 배상액 10분의 1로 줄어 (동시호가공략주)전차군단 주목 실리콘웍스, 터치감지시스템 관련 특허 취득 테스, 박막증착장치 관련 특허 취득 임애신 뉴스북 이 기자의 최신글 0/300 댓글 0 추천순 추천순 최신순 반대순 답글순 필터있음 필터있음필터없음 답댓글 보기3 0/0 댓글 더보기 뉴스리듬 이 시간 주요 뉴스 인기 뉴스 함께 볼만한 뉴스