로체시스템즈 '멀티핑거 로봇' 특허 취득
2010-07-14 12:12:17 2011-06-15 18:56:52
[뉴스토마토 한형주기자] 코스닥 반도체·LCD 제조용 장비업체 로체시스템즈(071280)가 '사이드 에지클램프형 멀티 핑거 로봇'의 특허권을 취득했다고 14일 공시했다.
 
로체시스템즈는 멀티 핑거 로봇은 회사의 반도체 이송장치에 적용된 기술로 이 로봇을 이용해 보다 안정적으로 웨이포를 이송·반송시킬 수 있어 효율성을 극대화할 수 있다고 설명했다.
 
 
뉴스토마토 한형주 기자 han9906@etomato.com

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