원익IPS, 하부주입 RPG 세정용 공정 챔버 특허 공유하기 X 페이스북 트위터 URL복사 복사 2012-04-03 14:01:59 ㅣ 2012-04-03 14:02:26 [뉴스토마토 김보선기자] 원익IPS(030530)는 '하부주입 RPG 세정용 공정 챔버' 특허권을 취득했다고 3일 공시했다. 이 특허는 공정 챔버 하부를 세정하기 위해 별도의 세정가스 분사부를 갖는 공정 챔버에 관한 것으로, 회사측은 이를 반도체 장비에 적용할 예정이다. ⓒ 맛있는 뉴스토마토, 무단 전재 - 재배포 금지 관련기사 한라건설, 정몽원 회장 4000주 매수 국제엘렉트릭, 삼성전자와 200억 공급계약 일성건설, 636억 고속도로 공사 수주 한림창투, 조건부 등록취소 유예 김보선 시장을 보는 또 하나의 눈이 되어드립니다. 뉴스북 이 기자의 최신글 (보험사 혁신로드맵)①날씨·도난·동물보험…소액단기보험사 설립 추진 (영상)금융지주 주총 임박…CEO 연임·주주달래기 화두로 박성호 부행장, 차기 하나은행장 단독후보 추천 (금융사가 찾는 인재상)④케이뱅크 "전문성 갖고 협업 능숙한지 살필것" 인기뉴스 추미애 대세론? 22대 첫 국회의장 '정성호' 급부상 (단독)삼성SDI, 미 공장 인프라투자 9월 완료 (단독)CJ 인사 퍼즐 고리는 '허민회' 샤페론, 주주배정 아닌 일반공모 유증…시장 ‘싸늘’ 이 시간 주요뉴스 민주, '채상병 특검' 강행처리…거부권 '유력' SH공사 "LH 단지와 수익률 최대 24%p 차이" 가라앉은 와인 시장…쪼그라든 실적 생산자에서 소비자까지 3배 폭리…금사과 해결 관건은 ‘유통’ 0/300 댓글 0 추천순 추천순 최신순 반대순 답글순 필터있음 필터있음필터없음 답댓글 보기3 0/0 댓글 더보기