로체시스템즈, 기판 가공장치 관련 특허권 취득
2013-05-31 13:19:13 2013-05-31 13:21:57
[뉴스토마토 박진아기자] 로체시스템즈(071280)는 정전척 및 이를 갖는 기판 가공 장치와 관련한 특허권을 취득했다고 31일 공시했다.
이 기사는 뉴스토마토 보도준칙 및 윤리강령에 따라 최신형 정치정책부장이 최종 확인·수정했습니다.

ⓒ 맛있는 뉴스토마토, 무단 전재 - 재배포 금지

지난 뉴스레터 보기 구독하기
관련기사