테스(095610)는 가스공급부 및 이를 구비한 박막증착장비에 대한 특허권을 취득했다고 2일 공시했다.
테스 측은 "이번 특허는 디스플레이 장비에 적용되는 기술"이라며 "기판 또는 가스공급부가 이동하는 중에 공정가스를 공급함으로써 증착이 균일하게 이루어지도록 해 우수한 품질의 박막을 제공할 수 있다"고 밝혔다.
조윤경 기자 ykcho@etomato.com
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