[뉴스토마토 고경록기자]
원익QnC(074600)는 상압소결방식을 이용한 저저항 탄화규소세라믹(SiC) 소재 제조방법에 대한 국내 특허권을 취득했다고 25일 공시했다.
회사 측은 "해당 특허를 반도체 드라이 에처(Dry Etcher) 공정용 부품이나 그밖에 저항특성과 플라즈마 내식성이 요구되는 세라믹 부품에 활용할 계획이다"고 밝혔다.
고경록 기자 gr7640@etomato.com
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