위지트, 기판의 온도 균일성이 향상된 서셉터 관련 특허 취득
2016-09-02 11:12:30 2016-09-02 11:12:30
[뉴스토마토 고경록기자] 위지트(036090)는 기판의 온도 균일성이 향상된 서셉터에 대한 특허를 취득했다고 2일 공시했다.
 
회사 측은 "본 특허 기술이 적용된 제품은 전체적인 온도 균일성 및 히터의 수명이 향상됨으로써 공정 중 기판의 얼룩발생을 방지 할 수 있는 제조 방법을 제공한다"고 밝혔다.
 
고경록 기자 gr7640@etomato.com
이 기사는 뉴스토마토 보도준칙 및 윤리강령에 따라 김기성 편집국장이 최종 확인·수정했습니다.

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