[뉴스토마토 고경록기자]
에스엔유(080000)는 패턴의 결함 검사 방법에 관한 특허권을 취득했다고 22일 공시했다.
에스엔유는 "해당 특허는 대면적화된 기판에 형성된 패턴에서 형성된 결함의 존재 여부 및 결함의 위치를 용이하게 검사할 수 있는 패턴의 결함 검사 방법에 관한 것"이라고 설명했다.
고경록 기자 gr7640@etomato.com
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