주성엔지니어링, '반도체 소자 제조법' 특허 취득

[뉴스토마토 한은정기자] 주성엔지니어링(036930)이 '반도체 소자 제조법'에 대해 일본 특허를 취득했다고 8일 공시했다.

 

주성엔지니어링은 "반도체 소자 제조방법에 있어서 고유전반막으로 사용되는 탄탈륨질화산화막을 형성하는 방법에 관한 특허"라고 설명했다.

 

 

뉴스토마토 한은정 기자 [e-mail]

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