[뉴스토마토 김하늬 기자]
삼성전자(005930) 자회사인 세메스가 세계 최초로 개발한 반도체 세정 장비 제조 기술을 중국에 유출한 세메스 전 연구원 등이 구속됐습니다. 국가핵심기술로 지정된 '초임계 반도체 장비' 도면이 유출된 것으로 검찰은 수조원대의 피해를 우려했습니다.
16일 수원지방검찰청 방위사업·산업기술범죄수사부(부장검사 박진성)는 전직 세메스 연구원 등 5명을 산업기술보호법 위반 등의 혐의로 재판에 넘겼다고 밝혔습니다. 세메스 전 연구원 A·B씨와 기술 유출 브로커 C씨, 세메스 협력사 대표 D씨 등 4명을 구속 기소했고, 같은 혐의로 세메스 협력사 직원 1명을 불구속 기소한 겁니다.
(자료=수원지방검찰청)
반도체 장비 도면 부정 취득 후 국외로 유출
이들은 2019년 퇴사 후 반도체 장비 회사를 설립해 장비 도면을 부정 취득한 후 국외로 유출한 혐의입니다.
A씨는 세메스가 세계 최초로 개발과 양산에 성공한 ‘초임계 반도체 세정장비’ 핵심 도면을 2021년 6월 세메스 협력회사 대표 D씨로부터 취득했습니다. 이후 이를 브로커 C씨를 통해 중국에 유출했습니다. A씨는 세메스를 퇴직해 2019년 다른 회사를 설립했는데 D씨는 A씨에게 도면을 넘겨주는 대가로 38억원 투자금을 받은 것으로 조사됐습니다. 브로커 C씨는 16억원을 전달받았습니다.
이들이 빼돌린 초임계 반도체 세정장비는 이산화탄소를 이용해 웨이퍼를 건조하는 장비입니다. 이 기술은 세메스에서 세계 최초로 개발 및 상용화에 성공한 차세대 장비입니다.
피고인들 1200억원대 이득…세메스 최소 350억원 직접손해
기술자료 유출로 인해 피고인들은 2019년부터 2022년까지 3년동안 총 20대의 세정장비 등을 수출해 약 1193억 원 상당의 막대한 이득을 취득한 것으로 밝혀졌습니다. 반면 세메스는 연구비와 인건비 등 약 350억원을 투자해 최소 같은 금액 이상의 직접 손해가 발생한 것으로 보입니다. 게다가 세메스의 기술경쟁력 저하로 인해 주요 거래처 수주가 10%만 감소해도 연간 400억 원 이상의 손해 발생이 우려됩니다.
검찰 관계자는 "반도체 설비분야의 기술경쟁력 약화는 모회사의 반도체 생산경쟁력 약화로 이어져 반도체 산업 전반에 걸쳐 수조원 이상의 피해 발생이 예상된다"며 "국가핵심기술 등 산업기술 유출 사범에 엄정 대응할 것"이라고 강조했습니다.
김하늬 기자 hani4879@etomato.com