테스, 실리콘 산화막의 건식 식각 방법 특허 공유하기 X 페이스북 트위터 URL복사 복사 2012-04-03 14:20:12 ㅣ 2012-04-03 14:20:38 [뉴스토마토 김보선기자] 테스(095610)는 '실리콘 산화막의 건식 식각 방법' 특허권을 취득했다고 3일 공시했다. 회사측은 "기판상에 파티클이 형성되는 것을 방지하고, 식각 효율성을 높여 공정 비용을 절감할 수 있다"고 밝혔다. ⓒ 맛있는 뉴스토마토, 무단 전재 - 재배포 금지 관련기사 원익IPS, 하부주입 RPG 세정용 공정 챔버 특허 엔알디, 유증 철회..불성실공시법인 지정 예고 대우건설, 4454억 고속도로 공사 수주 동방아그로, 자사주 19억 취득 결정 김보선 시장을 보는 또 하나의 눈이 되어드립니다. 뉴스북 이 기자의 최신글 (보험사 혁신로드맵)①날씨·도난·동물보험…소액단기보험사 설립 추진 (영상)금융지주 주총 임박…CEO 연임·주주달래기 화두로 박성호 부행장, 차기 하나은행장 단독후보 추천 (금융사가 찾는 인재상)④케이뱅크 "전문성 갖고 협업 능숙한지 살필것" 인기뉴스 "올 것이 왔다"…이스라엘, 이란 본토 '직접 타격' 미국 상장 초읽기 네이버웹툰…'현지화'로 해외 MZ 공략 (단독)"국내 잠수함 수주없다"…HD현대중공업, 수중함운항팀 해체 미국 금리인상 거론에 코스피 2600선 무너져 이 시간 주요뉴스 현대바이오, 경구용 항암제 '삼중음성유방암 전임상 성공' 지오영그룹, 지난해 매출 4조4천억 '사상 최고' 민주, 조정식 사무총장 등 당직자 일괄 사퇴 식약처, 디지털치료기기 3·4호 허가 0/300 댓글 0 추천순 추천순 최신순 반대순 답글순 필터있음 필터있음필터없음 답댓글 보기3 0/0 댓글 더보기