테스, 기판처리장치 특허권 취득

[뉴스토마토 조정훈기자] 테스(095610)는 26일 히팅모듈의 가열에 의한 오작동을 방지할 수 있는 기판처리장치 관련 특허권을 취득했다고 공시했다.

 

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