테스, 반도체 제조장치 특허 취득

[뉴스토마토 김동현기자] 테스(095610)는 반도체 제조장치 특허를 취득했다고 공시했다.

 

이 특허를 활용하면, 고온에서의 공정과 저온에서의 공정을 모두 수행할 수 있고 기판의 온도를 빠르게 높여 작업처리량을 극대화할 수 있다.

 

뉴스토마토 김동현 기자 [e-mail]

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