테스, 반도체 제조장치 특허 취득

[뉴스토마토 김동현기자] 테스(095610)는 반도체 제조장치와 이를 이용한 실리콘 산화막 건식 식각 방법에 관한 특허를 취득했다고 5일 공시했다. 

 

회사 측은  "이번 특허는 반도체식각장비와 관련된 것으로 기술·원가경쟁력을 향상시킬 것"이라고 설명했다.

 

 

 

뉴스토마토 김동현 기자 [e-mail]

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