[뉴스토마토 김세연기자]
테스(095610)는 태양전지와 제조장치와 관련된 공정챔버에 대해 특허권을 취득했다고 27일 공시했다.
이번 특허는 피처리 기판을 안정적으로 지지하여 줌으로써, 리프트 핀으로 인해 발생되던 기판 손상이나 불균일 증착 등의 문제를 해결할 수 있는 기술이다.
테스는 이번 특허를 통해 태양전지와 제조장치에 관련된 제품경쟁력 강화에 나선다는 계획이다.
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