[뉴스토마토 정성욱 기자] 일본 의존도가 90%를 넘는 반도체 핵심소재 ‘블랭크마스크’가 올 하반기부터 국내에서 양산된다. 정부는 일본의 3대 수출규제 품목도 연내 공급을 안정화한다는 방침이다.
산업통상자원부는 20일 종합 소재전문기업 SKC가 하이엔드급 블랭크마스크 시제품을 국내 수요기업과 시험 중이며 하반기 본격적으로 양산할 예정이라고 밝혔다.
블랭크마스크는 반도체 웨이퍼에 전자회로 패턴을 새길 때 사용하는 핵심 소재다. 이번에 생산하는 블랭크 마스크는 불화아르곤(ArF)용 등 하이엔드급 품목이다.
특히 블랭크마스크는 대일본 수입 상위 20대 핵심 소재·부품·장비 품목에 해당한다. 산업부는 블랭크마스크가 양산되면 국내 공급이 안정화 될 것으로 보고 있다.
정부는 지난해 일본의 수출규제 조치 이후 소·부·장 산업의 경쟁력을 강화하기 위해 100대 품목을 선정, R&D, 세액공제, 인허가 단축 등 기술개발을 지원해왔다.
올해엔 소·부·장 100대 품목 상용화를 위해 2100억원 이상을 집중 지원한다는 계획이다. 테스트베드에 1394억원, 신뢰성평가 200억원, 양산평가 400억원, 수출바우처 약 300개사에 140억원, 특허바우처에 15억원 등이다.
이 중 20대 품목의 경우 2021년까지 공급안정성을 확보하는 것을 목표로 국내 생산 확대, 기술개발, 수입국 다변화 등을 추진 중이다. 특히 일본의 수출규제 3개 품목은 공장 신증설, 외투기업 투자 등을 통해 연내 완전한 공급안정화를 이룬다는 방침이다.
액체불화수소는 화학 소재 전문기업 솔브레인사가 공장 신증설 등으로 생산능력을 2배 늘린 상태다. 불화수소가스는 A사가 공장 신설과 시제품 테스트를 진행중이며 빠르면 5월 양산이 가능하다는게 산업부의 설명이다.
각각 중국산과 미국산 물량을 수입해 공급처도 다변화 한다.
EUV 포토레지스트는 미국 듀폰사가 지난 1월 개발 및 생산시설 투자 신고를 완료한 상태다. 벨기에산 물량도 수입해 생산에 투입한다.
충남 천안에 위치한 SKC 블랭크 마스크 공장을 방문한 정승일 산업부 차관은 “소부장 기술력 강화, 건강한 산업생태계 구축 등 확실한 변화를 위해 정부, 수요·공급기업들간 긴밀한 협력이 중요하다”고 강조했다.
이외에 불화 폴리이미드는 SKC와 더불어 코오롱인더스트리가 연 3000만장 수준의 생산체제를 마련해 해외기업에 일부 수출까지 하고 있다.
산업부는 나머지 80대 품목을 중심으로 올해 R&D에 1조2000억원을 지원할 예정이다.
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일본 의존도가 90%를 넘는 반도체 핵심소재 ‘블랭크마스크’가 올 하반기부터 국내에서 양산된다. SKC직원이 반도체 노광공정 핵심소재인 블랭크 마스크의 시제품을 검사하고 있다. 사진/SKC
세종=정성욱 기자 sajikoku@etomato.com
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