테스 '기판 리프트 어셈블리' 특허 취득
2010-07-07 14:45:14 2011-06-15 18:56:52
[뉴스토마토 한형주기자] 코스닥 반도체·태양전지 장비 생산업체 테스(095610)는 기판처리장치에 사용되는 '기판 리프트 어셈블리' 관련 특허권을 취득했다고 7일 공시했다.
 
테스는 이 특허로 리프트 핀을 리프트 구멍(홀) 내 정확한 위치에 정렬시킬 수 있게 됐다며 리프트 홀과 핀의 제작 오차 혹은 설계 변경이 있어도 대응이 용이해졌다고 설명했다.
 
또 리프트 홀과 핀의 조립 작업이 신속, 용이해졌다고 덧붙였다.
 
회사는 이 특허를 반도체·태양전지 장비 제조 시 활용할 계획으로 기술 경쟁력과 원가 경쟁력 향상을 기대했다.
  
뉴스토마토 한형주 기자 han9906@etomato.com

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