반도체·디스플레이 온실가스 감축량 정량평가 가능해졌다

환경과학원, 개정 온실가스 공정시험기준 공개적외선흡수분광법 측정 통해 온실가스 감축 평가

[뉴스토마토 정해훈 기자] 우리나라 산업의 주요 업종인 반도체와 디스플레이 사업장에서 배출되는 온실가스 감축량을 정량평가할 수 있도록 공정시험기준이 개정됐습니다.

 

환경부 산하 국립환경과학원은 반도체·디스플레이 업종의 주요 온실가스 배출량과 감축량을 정확하게 산정할 수 있도록 개정한 온실가스 공정시험기준을 오는 12일 공개한다고 11일 밝혔습니다.

 

온실가스 공정시험기준은 사업장에서 배출되거나 대기 중에 존재하는 온실가스의 농도를 정확하게 측정하는 데 필요한 시험 방법을 의미합니다. 

 

이번 개정으로 반도체·디스플레이 업종에서 배출되는 온실가스 농도를 적외선흡수분광법으로 측정해 감축 활동에 대한 정량평가가 가능해졌습니다.

 

또 감축 시설의 저감 효율 측정뿐만 아니라 공정 과정 중에 쓰이는 육불화황 등 온실가스의 사용 비율을 평가하고 이때 발생하는 사불화탄소 등 부생 가스도 측정할 수 있습니다. 

 

환경부 산하 국립환경과학원은 반도체·디스플레이 업종의 주요 온실가스 배출량과 감축량을 정확하게 산정할 수 있도록 개정한 온실가스 공정시험기준을 오는 12일 공개한다고 11일 밝혔습니다. 사진은 삼성전자 평택캠퍼스. (사진=뉴시스)

 

반도체 및 디스플레이 분야 온실가스 감축량 산정을 위한 가장 현실적인 방안은 제조 과정 중 식각(Etching)과 증착(CVD: Chemical Vapor Deposition) 공정에 사용되는 불소 화합물과 온실가스에 대해 처리 시설(스크러버)을 통해 파괴되거나 제거되는 저감 효율을 측정하는 방식입니다.

 

공정 중 사용되는 각각의 불소 화합물과 온실가스에 대한 처리 시설(스크러버)의 가스 저감 효율을 측정하기 위해서는 신뢰성 있는 측정 방법의 마련이 필요합니다. 이에 환경과학원은 온실가스 공정시험기준을 개발했습니다.

 

이번에 개정된 온실가스 공정시험기준은 지난해 11월 사전 행정예고를 통해 국민의 의견이 반영되고 이후 수정안에 대해 관련 전문가와 관계 기관 검토를 거쳐 마련됐습니다.

 

개정된 온실가스 공정시험기준은 환경과학원 누리집과 법제처 국가법령정보센터에서 누구나 확인할 수 있습니다.

 

유명수 환경과학원 기후대기연구부장은 "이번 온실가스 공정시험기준 개정은 반도체와 디스플레이 업종의 탄소중립 노력에 대한 정량평가 기준 수립에 의의가 있다"며 "앞으로도 이를 활용해 기술 경쟁력뿐만 아니라 온실가스 감축에 대한 선도적인 역할을 수행할 수 있는 기반을 확보하겠다"고 말했습니다.

 

환경부 산하 국립환경과학원은 반도체·디스플레이 업종의 주요 온실가스 배출량과 감축량을 정확하게 산정할 수 있도록 개정한 온실가스 공정시험기준을 오는 12일 공개한다고 11일 밝혔습니다. 사진은 2022 한국디스플레이산업전시회. (사진=뉴시스)

 

세종=정해훈 기자 [e-mail]

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